Камера ионновакуумного напыления Булат ННВ-6,6, обеспечивает надежное и качественное нанесение покрытий на различные материалы. Эта установка идеально подходит для научных исследований и производственных нужд.
🔧 Основные характеристики: Размеры камеры: - Диаметр: 660 мм - Высота: 660 мм Рабочее давление: - Диапазон рабочего давления: от 10⁻³ до 10⁻⁶ Торр. Источник вакуума: - Вакуумная система включает турбомолекулярный насос и предварительный насос (роторный или форвакуумный). Система напыления: - Тип источника: ионно-лучевые, термические испарители или магнетронные распылители. - Возможность использования различных мишеней для напыления (металлы, сплавы, диэлектрики). Электропитание: - Напряжение питания: 380 В, 50 Гц. - Максимальная потребляемая мощность: ~5–10 кВт (в зависимости от конфигурации). Пропускная способность: - Возможность работы с деталями диаметром до 500 мм и высотой до 300 мм. Температурный диапазон: - Рабочая температура подложки: до 500 °C (в зависимости от комплектации). Контроль процесса: - Оснащена системой управления и мониторинга, включая: - Толщина напыляемого слоя (кварцевый микробаланс). - Давление в камере. - Температура подложки. Скорость напыления: - Зависит от материала мишени и условий напыления, обычно составляет от 0,1 до 1 мкм. Габариты установки: - Занимаемая площадь: порядка 3 × 2 × 2 м (включая внешние системы управления и охлаждения).
